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應(yīng)變式壓力傳感器常用的4種類型

4557次 2019-03-13 返回 >

1、組合式

組合式應(yīng)變壓力傳感器中,其彈性敏感元件可分為感受元件和彈性應(yīng)變?cè)?。其中,感受元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應(yīng)變?cè)?yīng)變最敏感的部位,而應(yīng)變片則貼在彈性應(yīng)變?cè)淖畲髴?yīng)變處。實(shí)際上,較復(fù)雜的應(yīng)變管式和應(yīng)變梁式都屬于這種型式。
感受元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等,彈性應(yīng)變?cè)袘冶哿骸⒐潭骸?Pi;形梁、環(huán)形梁、薄壁筒等。它們之間可根據(jù)不同需要組合成多種型式。應(yīng)變式壓力傳感器主要用來(lái)測(cè)量流動(dòng)介質(zhì)動(dòng)態(tài)或靜態(tài)壓力,例如動(dòng)力管道設(shè)備的進(jìn)出口氣體或液體的壓力、內(nèi)燃機(jī)管道壓力等等。
2、膜片式
它的彈性敏感元件為周邊固定圓形金屬平膜片。膜片受壓力變形時(shí),中心處徑向應(yīng)變和切向應(yīng)變均達(dá)到正的最大值,而邊緣處徑向應(yīng)變達(dá)到負(fù)的最大值,切向應(yīng)變?yōu)榱?。因此常把兩個(gè)應(yīng)變片分別貼在正負(fù)最大應(yīng)變處,并接成相鄰橋臂的半橋電路以獲得較大靈敏度和溫度補(bǔ)償作用。采用圓形箔式應(yīng)變計(jì)(見(jiàn)電阻應(yīng)變計(jì))則能最大限度地利用膜片的應(yīng)變效果,這種傳感器的非線性較顯著。膜片式壓力傳感器的最新產(chǎn)品是將彈性敏感元件和應(yīng)變片的作用集于單晶硅膜片一身,即采用集成電路工藝在單晶硅膜片上擴(kuò)散制作電阻條,并采用周邊固定結(jié)構(gòu)制成的固態(tài)壓力傳感器(見(jiàn)壓阻式傳感器).
3、應(yīng)變梁式
測(cè)量較小壓力時(shí),可采用固定梁或等強(qiáng)度梁的結(jié)構(gòu)。一種方法是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通過(guò)傳力桿傳遞給應(yīng)變梁,兩端固定梁的最大應(yīng)變處在梁的兩端和中點(diǎn),應(yīng)變片就貼在這些地方。這種結(jié)構(gòu)還有其他形式,例如可采用懸梁與膜片或波紋管構(gòu)成。
4、應(yīng)變管式
應(yīng)變管式亦稱應(yīng)變筒式,它的彈性敏感元件為一端封閉的薄壁圓筒,其另一端帶有法蘭與被測(cè)系統(tǒng)連接。在筒壁上貼有2片或4片應(yīng)變片,其中一半貼在實(shí)心部分作為溫度補(bǔ)償片,另一半作為測(cè)量應(yīng)變片。當(dāng)沒(méi)有壓力時(shí)4片應(yīng)變片組成平衡的全橋式電路;當(dāng)壓力作用于內(nèi)腔時(shí),圓筒變形成“腰鼓形”,使電橋失去平衡,輸出與壓力成一定關(guān)系的電壓。